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Ionpure® VNX55-E和VNX55-EX大流量膜堆采用成熟可靠的 IONPURE 连续电去离子 (CEDI) 技术生产高纯水。专门针对微电子行业所需的超纯水而优化设计。
每个VNX55-E和VNX55-EX膜堆的名义产水流量均为 12.5 m3/h (55 gpm)。通过在系统中并联多个VNX55-E或VNX55-EX膜堆可以使单套系统产水达到甚至超过 228 m3/h (1,000 gpm) 。