Fertigungsprozesse in der Halbleiterindustrie erfordern in nahezu jeder Phase ultrareines Wasser. Die Aufbereitung von Rohwasser auf ein hohes Qualitätsniveau erfordert Prozesse und Wasseraufbereitungstechnologien zur Entfernung von Verunreinigungen, Mineralien, Mikroorganismen sowie organischen und anorganischen Spurenchemikalien. Es reicht nicht aus, lediglich die heutigen Wasserqualitätsanforderungen zu erfüllen. Xylem ist sich bewusst, dass der nächste Technologiezyklus noch strengere Spezifikationen erfordern wird, die die Kosten jedes produzierten Chips erhöhen. Unser umfangreiches Technologieportfolio kann die drei Stufen eines Ultrareinstwassersystems abdecken: Aufbereitungs-, Primär- und Polierungssysteme.
3 Stufen eines Ultrareinstwassersystems
- Aufbereitungssysteme – umfassen Filtration, granulierte Aktivkohle/Chlorkontrolle, Enthärtung/Kesselsteinschutz, pH-Anpassung und Umkehrosmose.
- Primärsysteme – umfassen UV-TOC-Reduktion, membranbasierte Entgasung, Deionisierung (CEDI oder Mischbetten) und Submikronfiltration. Xylems CEDI-Systeme der Baureihe VNX-EX sind speziell für die Halbleiterindustrie konzipiert und bieten eine unübertroffene Kapazität zur Entfernung von Silizium und Bor.
- Polierungssysteme – umfassen UV-TOC-Reduktion, membranbasierte Entgasung, Mischbett-Deionisierung, Submikronfiltration und Ultrafiltration. Xylems Mischbett-Ionenaustauschharz NR-45 Meg Nano ist unser Produkt der neuesten Generation, das nach den SEMI-C-93-Protokollen getestet wurde.
Der Betrieb von Reinstwassersystemen auf höchstem Leistungsniveau ist entscheidend für die Aufrechterhaltung der Produktqualität und der Produktionsverfügbarkeit. Xylems Sophis™ Digital Services kombiniert eine 24/7-Fernüberwachung mit prädiktiver Analytik, technischem Fachwissen und proaktivem Service, um potenzielle Probleme frühzeitig zu erkennen, die Systemleistung zu optimieren und das Betriebsrisiko zu reduzieren.
Wir können auch bei der Mischbettharzwechsel, der vorbeugenden Wartung und Betriebsverträgen behilflich sein. Unsere Nachrüst- und Aufrüstlösungen verbessern die Wasserqualität und Zuverlässigkeit, senken die Betriebskosten und erhöhen die Kapazität. Für Point-of-Use-Anwendungen (POU) erzeugen unser Vanox® POU-System und die Vanox POU-F-Filtrationsprodukte Wasser, das die ASTM-E-1.2-Standards übertrifft.
