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Agua ultrapura para microelectrónica

Cumple los estándares ASTM y SEMI para la industria de semiconductores

Los procesos de fabricación en la industria de semiconductores requieren agua ultrapura en casi todas las fases. El tratamiento del agua de entrada a niveles de alta calidad requiere procesos y tecnologías de tratamiento de agua para eliminar contaminantes, minerales, microorganismos y trazas de productos químicos orgánicos y no orgánicos. El simple hecho de satisfacer las demandas de calidad del agua actuales no es lo suficientemente bueno y Xylem entiende que el siguiente ciclo tecnológico exigirá especificaciones aún más rigurosas que sumen el coste de cada chip producido. Nuestra amplia gama de tecnologías puede abordar los tres pasos de un sistema de agua ultrapura: los sistemas de maquillaje, primario y de pulido.

3 pasos de un sistema de agua ultrapura

  • Sistemas de disolvente: incluyen filtrado, control granular de carbón activado/cloro, control de ablandamiento/escamas, ajuste de pH y ósmosis inversa. 

  • Sistemas primarios: incluyen UV de reducción de COT, desgasificación basada en membrana, desionización (CEDI o lechos mixtos) y filtración submicrónica. Los sistemas VNX-EX CEDI de Xylem están diseñados específicamente para la industria de semiconductores con una capacidad de eliminación de sílice y boro insuperable.

  •  Sistemas de pulido: incluyen UV de reducción de COT, desgasificación basada en membrana, desionización de lechos mixtos, filtración submicrónica y ultrafiltración. La resina de intercambio iónico de lecho mixto NR-45 Meg Nano de Xylem es nuestro producto de última generación que ha sido probado conforme a los protocolos SEMI C-93. 

Mantener los sistemas de agua ultrapura funcionando al máximo rendimiento es fundamental para mantener la calidad del producto y el tiempo de actividad de producción. Los servicios digitales Sophisσ de Xylem combinan la monitorización remota 24/7 con análisis predictivos, experiencia en ingeniería y servicio proactivo para ayudar a identificar problemas potenciales de forma temprana, optimizar el rendimiento del sistema y reducir el riesgo operativo.

También podemos ayudar a abordar el intercambio de resina de lecho mixto, el mantenimiento preventivo y los contratos operativos. Nuestras soluciones de reajuste y actualización mejoran la calidad del agua, la fiabilidad, reducen los costes operativos y aumentan la capacidad. Para aplicaciones en el punto de uso (POU), nuestro sistema Vanox® POU y los productos de filtrado Vanox POU-F producen agua que supera los estándares ASTM E-1.2.